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硅烷供气系统

发布时间:2023-11-03 11:39:29 人气: 1637

硅烷供气系统包括硅烷容器、气体面板或气柜、阀门分配箱以及相应的连接管道等部分。

  1. 硅烷容器:用于储存硅烷气体。

  2. 气体面板或气柜:具有减压过滤、吹扫、排气、安全控制等功能。

  3. 阀门分配箱:将主管道分成多个支路进行供气。在打开VMB支路前后,均需要采用惰性气体进行吹扫。

  4. 连接管道:连接各部分,确保气体的传输。

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硅烷供气系统的设计要求包括:

  1. 防止回流:由于存在通过系统的固定惯性气流,要设有防止回流装置。

  2. 排气管要求:排气管不得接入排风系统,硅烷和硅烷混合物排气系统应该独立于其它气体排气系统。如果排气的硅烷(SiH4)浓度较高时,应采用燃烧式尾气处理装置处理后排入大气。排气管应采用惰性气体连续吹扫,吹扫气体流速不得小于0.3m/s。

  3. 安全控制:由于硅烷与空气会自燃,柜内应配备气体泄露侦测器、火焰探测器等,当发生泄漏时,能及时报警处理,避免更大事故的发生。

  4. 洁净要求:硅烷管道要求洁净,焊接除了要达到常规工业管道对焊缝的要求外,还要求焊接时管内、外表面不受污染,焊缝内、外表面必须与母材光亮度基本一致。

  5. 阀门要求:硅烷特气管道系统上不允许使用衬垫阀。只能使用无衬垫膈膜阀或波纹管阀。

  6. 配送系统:在所有的配送系统上都应安装流量控制阀或流量开关,以便在流线型破裂的情况下切断气流。这个切断阀应该尽可能接近气源。

以上是硅烷供气系统的基本构成和设计要求,具体细节可咨询相关技术人员。

硅烷尾气焚烧处理
硅烷尾气焚烧处理

硅烷供气的特点主要表现在其纯度高、杂质含量低、稳定性好以及使用安全等方面。

  1. 纯度高:硅烷气体纯度高,可达到99.999%以上,能满足各种高精度的使用需求。

  2. 杂质含量低:硅烷气体中杂质含量极低,其纯度稳定性好,这使得使用效果更佳。

  3. 稳定性好:硅烷气体在常温下稳定,无毒无味,化学性质稳定,不易燃易爆,使用安全。

  4. 使用安全:硅烷气体对人体无害,使用过程中安全可靠。

总的来说,硅烷供气是一种纯度高、杂质含量低、稳定性好、使用安全的气体供气方式。

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硅烷是一种有毒有害气体,使用时需要注意以下事项:

  1. 避免直接接触:硅烷气体具有毒性,直接接触可能会对人体造成伤害。因此,使用硅烷时需要佩戴好专业防护手套、护目镜等防护用品。

  2. 避免吸入:硅烷易挥发,使用时要避免吸入。建议在通风设备良好的室内进行,确保空气流通,避免有害气体在室内滞留。

  3. 避免火源:硅烷易燃,使用时要避免接触火源。强烈振动或撞击可能会引发事故,需要注意安全。

  4. 存放安全:硅烷的存放环境温度不应高于40℃,且需要远离热源和火源。库房的地面、屋顶、四周的围墙应具有良好的阻燃效果,并配备良好的通风设施。

  5. 废气处理:在使用硅烷过程中,如果产生废气,需要按照相关规定进行排放或处理,避免对环境造成污染。

总之,使用硅烷时需要注意安全操作和存放安全,避免发生意外事故。同时,需要遵守相关规定和标准,确保使用的安全性和合法性。


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