2025年末，全球半导体行业旗舰展会现场，一款用于替代传统高 GWP三氟甲烷（CHF₃，HFC-23）的新型低 GWP 刻蚀气体首次公开亮相，瞬间引发全产业链的连锁反应。这一成果不仅代表着绿色制造在半导体核心耗材领域的关键突破，更标志着一场围绕低GWP刻蚀气体展开的规则重构，正在全球晶圆采购体系中加速落地。