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| CAS NO | 75-46-7 |
| UN NO | 1984 |
| EINECS NO | 200-872-4 |
| Molecular weight | 70.01 |
| Appearance | Colorless, odorless |
| Melting point | -160 ℃ |
| Boiling point | -84℃ |
| Density | 1.246 |
| DOT Class | 2.2 |
| Label | Non-flammable Gas |
三氟甲烷,是一种有机化合物,化学式为CHF3,常温常压下为无色气体,溶于水、乙醇、丙酮,主要用作低温致冷剂、灭火剂和制造四氟乙烯的原料。

在电子产业中,三氟甲烷可用作等离子体化学蚀刻剂,在二氧化硅膜刻蚀方面具有速度快、选择性优等特点。

主要用作低温致冷剂、灭火剂和制造四氟乙烯的原料。
| Specification | 99.9% |
|---|---|
| Moisture | ≤ 2 ppm |
| Acidity (as HF) | ≤0.1 mg/kg |
| Reside on evaporation | ≤0.01 % |
| Foul gas in air phase | ≤0.1 % |
| Carbon Dichloride | ≤30 ppm |
| Specification | 99.999% |
|---|---|
| Moisture | ≤10 ppm |
| Acidity (as HF) | ≤0.1 ppm |
| Nitrogen | ≤4 ppm |
| Oxygen | ≤1 ppm |
| Carbon Monoxide | ≤0.5 ppm |
| Carbon Dioxide | ≤0.5 ppm |
| Methane | ≤0.5 ppm |
| Other Organics | ≤ 1ppm |
| Cylinder Capacity | Valve | Weight |
|---|---|---|
| 40L | XF-4 | 30 kgs |





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