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电子特气系统

发布时间:2018-04-12 10:23:07 人气: 276

  1. 特气系统的组成及特点
    特气系统是指特种气体的储存、输送与分配过程的设备、管道和部件的总称。特气系统工程是用于实现特气系统安全使用的工程。
    特气系统中的每台设备均配有PLC控制、彩色触摸屏操作,带有温度、压力、烟雾、泄漏监控报警,并可扩展地震监控报警;单台设备可以独成系统独立运转,也可多台设备用PLC或TGO连起来组成大系统,在监控中心统一监控管理,其报警系统还可以与安监系统、消防系统对接。

  2. 电子特气工程纯度要求
    特种气体要求超纯、超净。纯度每提升一个N以及粒子、金属杂质含量浓度每降低一个数量级都将带来工艺复杂度和难度的显著提升。例如,12吋、90nm制程的集成电路制造技术要求电子特气的纯度要在5N~6N以上,有害的气体杂质浓度需要控制在ppb(10-9);在更为先进的28nm以及目前国际一线的6nm~10nm集成电路制程工艺中,电子特气的纯度要求更高,杂质浓度要求甚至达到ppt(10-12)级别。

  3. 特种气体管道的施工
    特种气体管道的施工采用全自动轨道焊接,同时制定和实施严格的超高纯施工和QA/QC保证程序,对施工的质量和程序进行严格的监控和管理。最后整个系统还要进行氦检漏、水分、氧分和颗粒度检测、以及其他要求做的气相杂质的测试。
    其现场基本的施工程序为:施工图纸会审→施工组织编写→预制间的搭设→施工机具的准备→施工人员的培训→预制图纸的编写→管道的预制→管道的现场安装→系统检测→系统验收。

  4. 特气系统检测
    a. 设备安装完成后,按照系统要求的基本功能逐一测试。
    b. 系统运行正常,联机测试通过。
    c. 如商检或设备测试中发现设备性能指标或功能上不符合招标文件和合同时,将被看作性能不合格,设备使用单位有权拒收并要求赔偿。
    d. 我公司负责在项目验收时将系统的全部有关产品说明书、原厂家安装手册、技术文件、资料、及安装、验收报告等文档交付设备使用单位。
    e. 针对以上情况及实际工作压力,参考《国家工业管道安装及验收规范》(GB50235-2010)、《现场设备、工业管道焊接工程施工及验收规范》(GB50236-2010)等部分有关规定,对本项目气体管道压力试验及净化制定具体方案。

    电子气体有哪些?

电子气体,多采用集中式供应,可分为大宗气体,包括氮气、氢气、氩气、氦气、氧气、二氧化碳等;电子特种气体,包括笑气、氨气、硅烷、四氟化碳、六氟化硫、氯化氢、八氟环丁烷、甲烷等气体。

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