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八氟环丁烷Octafluorocyclobutane, C4F8
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六氟化钨,WF6
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四氟化硫Sulfur Tetrafluoride, SF4
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四氟化碳 ，Carbon Tetrafluoride, CF4
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氘气 Deuterium, D2
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硅烷气体Silane, SiH4
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硫化氢气体Hydrogen Sulfide, H2S
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高纯氯气，Purity Chlorine, Cl2
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