四氟化碳 ,Carbon Tetrafluoride, CF4

CAS NO  75-73-0
UN NO  1982
EINECS NO  200-896-5
Molecular weight  88
Appearance  Colorless, Odorless
Melting point  -184 ℃
Boiling point  -128.1 ℃
Density  3.72 kg/m³
DOT Class  2.2
Label  Non-flammable Gas
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分类:

描述

四氟化碳,又名四氟甲烷,化学式为CF4,它既可以被视为一种卤代烃(有机物),也可以被视为一种无机化合物,常温常压下为无色气体,不溶于水,溶于苯和氯仿,主要用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺,也用作激光气体、低温制冷剂、溶剂、润滑剂、绝缘材料、红外检波管的冷却剂。

产品应用

它是最常用在微电子工业等离子体蚀刻气体。

四氟化碳高纯气体和四氟化碳高纯气体的混合物和高纯氧可广泛用于蚀刻硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃和钨薄膜材料。

也广泛应用于电子设备的表面清洗、太阳能电池生产、激光技术、低温制冷、泄漏检查,除污剂在印刷电路板生产。

气体纯度

Specification99.999%
Oxygen + Argon≤ 1 ppm
Nitrogen≤ 2 ppm
Hydrogen≤ 0.3 ppm
Carbon Monoxide≤ 0.3 ppm
Carbon Dioxide≤ 0.3 ppm
Sulfur Hexafluoride≤ 0.3 ppm
THC≤ 0.3 ppm
Trifluoromethane≤ 0.3 ppm
OFC≤ 1 ppm
Moisture≤ 1 ppm
Acidity as HF≤ 0.1 ppm
若有其他纯度或等级要求请联系我们

包装信息

Cylinder CapacityValveWeight
47LCGA58030kgs
若有其他需求请联系我们

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售后服务&物流服务

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